半導体製造プロセス全体にわたる高度なプロセス制御のための材料・光学・化学計測ソリューションを提供する。高精度のハードウェアと最先端のソフトウェアを組み合わせ、光学・X線・SIMS・化学分析技術ソリューションを提供するほか、高度なウェーハレベルパッケージングおよび特殊デバイス分野への提供に取り組む。