産業・研究向けの材料・コーティングの開発・製造に使用される化学気相成長(CVD)、熱処理、物理気相輸送(PVA)、ガス・化学物質供給制御システム、その他幅広い装置とプロセスソリューションの設計・開発・製造を行う。航空宇宙・防衛、高出力エレクトロニクス、EVバッテリー材料、エネルギー貯蔵などの市場で使用される。