半導体メーカーが半導体製造プロセスを開発・最適化・制御するための、リソグラフィに対する包括的なアプローチによるハードウェア・ソフトウェアなどの製品とサービスを提供する。システムとプロセス制御ソフトウェアは、自動制御ループによりリソグラフィプロセスの最適な動作を維持し、歩留まりを最大化することが可能。